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FT9500X X射线荧光镀层厚度测量仪

来源:   编辑:   时间:2014-05-08  
FT9500 X射线荧光镀层厚度测量仪
概要
通过新型X射线聚焦光学系统(聚焦导管)的开发,用我司的膜厚史上最小的实际照射直径30μm实现高亮度X射线束。为此,可以对以往X射线荧光镀层厚度测量仪由于照射强度不足而无法得到理想精度的导线架,掐接头,柔性线路板等微小部件及薄膜进行测量。 另外,相比FT9500,以往1/5的照射面积可以测量同等的精度。 
 

规格
  
型号
FT9500X
测定元素
原子序号13(AI)-83(Bi)
总电源
管电压:50kV管电流:1mA
检测器
半导体检测器(无需液氮)
X射线聚光
聚焦导管方式
样品观察
CCD照相机(附可变焦距功能)
焦点
激光焦点
滤波器
Au超薄膜厚测量用滤波器
样品平台

240(W) ×175(D) mm
X:220mm Y:150mm Z:150mm

420(W) ×330(D) mm
X:400mm Y:285mm Z:50mm

操作方式

电脑 19英寸液晶显示器

测量软件

薄膜FP法(最多5层)薄膜检量线

数据处理

Microsoft® Excel、Microsoft® Word

安全功能

样品室门连锁

 

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